NaMiFlu

Nanotechnologie basiertes Mikrosystem zum insitu-Fluidmonitoring

Teilvorhaben: Charakterisierung von Nanostrukturen und des Mikrosensorsystems zur Beurteilung von Betriebsstoffen

Problemstellung

Die Zustandsüberwachung von technischen Flüssigkeiten, insbesondere Ölen, stellt eine wichtige Herausforderung im Zuge der Kosten- und Ressourcen-Effizienz dar. Sensoren auf Basis der Mikrosystemtechnik sind hierfür prädestiniert, da sie leicht in technische Anlagen integriert werden können.

Ziele

Diese können effizient durch die Integration von Nano-Strukturen überwunden werden: Sie erlauben eine hochfeste Verbindung unterschiedlicher Materialien wie Silicium und Keramik und sie haben wesentlichen Einfluss auf die optischen Eigenschaften des Silicium-Luft-Übergangs, der in der Infrarot-Messstrecke von großer Bedeutung ist. Erst der Einsatz der Nano-Oberflächen mit Strukturgrößen weit unterhalb der relevanten Wellenlängen erlaubt ein extrem kompaktes, hochfestes Mikro-Sensor-System, das auch den optischen Anforderungen in vollem Umfang genügt.

Vorgehen

  • Optische Untersuchung der Nanostrukturen und IR-Komponenten,

  • Untersuchung von Abscheide- und Ätzprozessen,

  • Erarbeitung von Auswertealgorithmen,

  • messtechnische Charakterisierung

Projektbearbeitung: Dipl.-Ing. Eliseo Pignanelli, Dipl.-Ing. Torsten Bley

Projektleiter: Prof. Dr. Andreas Schütze

homepage_namiflu

62101e_14d2b77d982a444cb04a0fb84ce32755